Возрождение советской микроэлектроники в наши дни — это бесспорный факт. Следует отметить, что в своё время Советскому Союзу удалось построить крепкую микроэлектронную промышленность. В прошлом веке только трём странам удалось это сделать: СССР, США и Японии. В последние десятилетия о российской микроэлектронике было слышно не очень много: страну заполонила импортная техника. Но когда было принято решение ускоренными темпами развивать собственные высокие технологии, оказалось, что благодаря советскому наследию у нас есть что развивать. Основные предприятия этой отрасли, созданные в СССР, сохранились. Более того, все эти годы шло финансирование, как государственное, так и частное, решались научные и прикладные задачи.
Начнём с главного научно-образовательного центра советской, а теперь и российской микроэлектроники: Московского института электронной техники (сейчас — Национальный исследовательский университет МИЭТ). Помимо того, что университет продолжает готовить столь нужных стране специалистов, семимильными шагами развивается и прикладная деятельность: действующий при МИЭТ Зеленоградский нанотехнологический центр является российским лидером в разработке и производстве фотонных устройств. Кстати, именно ЗНТЦ создал первый в России фотолитограф (по техпроцессу 350 нм), ключевое оборудование в производстве микрочипов. Сейчас зеленоградцы работают над очередным литографом, способным выпускать микрочипы по более передовому техпроцессу 130 нм.
Белорусский «Планар», ведущее советское предприятие в области производства оборудования для полупроводниковой промышленности, наращивает выпуск своей продукции и в наши дни. Разумеется, Россия является основным рынком сбыта этого предприятия. Оба советских лидера в производстве интегральных схем, зеленоградский «Микрон» и минский «Интеграл», тоже вовсю работают. «Микрон» совсем недавно установил новую производственную линию, поскольку уже не справлялся с возросшим потоком заказом на микрочипы. Кстати, часть оборудования было поставлено именно из Белоруссии. «Интеграл» в свою очередь заявил, что намерен быть в числе первых покупателей нового зеленоградского фотолитографа.
Разумеется, за производственными успехами «Микрона» стоит крепкая научная база. Эту роль прежде всего играет зеленоградский НИИМЭ (НИИ молекулярной электроники). Институт специализируется в НИР и ОКР (научно-исследовательских работах и опытно-конструкторских и технологических работах) в области микро и наноэлектроники, разработкой программных блоков и прототипированием интегральных схем. Помимо фотолитографов, ключевыми элементами производственных линий по изготовлению микрочипов также являются установки для плазмо-химического травления и осаждения. Разработкой и производством такого оборудования с советских времён занимается зеленоградский НИИТМ (НИИ Точного машиностроения). Институт также занимается оборудованием для выращивания эпитаксиальных структур, необходимых для производства высококачественных полупроводниковых пластин. И «Микрон», и НИИМЭ, и НИИТМ объединяет то, что они входят в группу компаний «Элемент», совместному предприятию АФК «Система» и госкорпорации «Ростех».
А какой фотолитограф может быть без лазерного оборудования? Поставщиком лазеров для литографов голландского ASML, мирового лидера в это области, является немецкий Trumpf. У нас в стране разработками лазеров занимается созданный ещё в советское время Институт спектроскопии РАН, расположеннный в Москве. Оптику для фотолитографов ASML поставляет немецкий Carl Zeiss. У нас оптикой для литографов занимается нижегородский Институт физики микроструктур РАН (образован в 1993 году на базе Отделения физики твёрдого тела Института прикладной физики АН СССР). В мире, пожалуй, только эти два российских института способны в перспективе бросить вызов немецким передовикам. В конце концов в своё время именно разработки советских и российских учёных в значительной степени предопределили успехи европейской фотолитографии.
В общем, в нашей стране «старая гвардия» по-прежнему играет первую скрипку. Но с каждым годом трудиться на эти предприятия приходит всё больше и больше молодёжи. Ведь микроэлектроника снова становится престижной, как это было в советские времена. Да, техпроцессы, по которым работают наши предприятия, пока несколько отстают от лидеров мирового рынка. Но при должном финансировании и старании прогресс не должен заставить себя долго ждать. Ведь все понимают, насколько это важно для страны.