Ученые Санкт-Петербургского политехнического университета Петра Великого (СПбПУ) сделали ошеломляющий прорыв в области безмасочной литографии. Это совершенно новое направление, которое только начинает исследоваться, но уже сейчас российские ученые представили промышленный образец комплекса, состоящего из двух установок: безмасочного фотолитографа и плазменной установки травления. Интересно то, что данное оборудование позволяет создавать наноструктуры для микроэлектроники без использования специальных масок. Такие маски требуют применения сложных технологий и стоят дорого. Созданный в СПбПУ комплекс значительно дешевле зарубежных аналогов. При этом он обладает рядом преимуществ, например, высокой надежностью и чувствительностью создаваемых мембран. Применение новой технологии обширно, и она может быть полезна в различных отраслях. Например, в радиолокации возможно увеличение срока службы приборов в много раз, а использование ее при производстве солнечных панелей позволяет значительно ум
В России создали безмасочный фотолитограф и плазменную установку травления
13 октября 202313 окт 2023
55
2 мин