Новые установки для выпуска микроэлектронных наноструктур позволят укрепить технологических суверенитет РФ.
Литография по цене автомобиля
Как сообщает Cnews, специалисты Санкт-Петербургского политехнического университета Петра Великого (СПбПУ) разработали две инновационные системы для производства микроэлектронных наноструктур, которые позволят России достичь технологического суверенитета в области микроэлектроники. Об этом сообщает РИА «Новости», ссылаясь на представителей университета. Созданный комплекс включает в себя установку для безмасочной нанолитографии и плазмохимического травления кремния.
Первая установка предназначена для получения изображений на подложке без использования специальной маски. Согласно имеющейся информации, данная технология является более экономичной в плане затрат времени и средств по сравнению с классической литографией, где требуются специализированные шаблоны для создания изображений. Установка полностью автоматизирована и работает под управлением специализированного программного обеспечения.
Стоимость первой установки оценивается примерно в 5 миллионов рублей, что сравнимо с ценой современного китайского авто. По данным РИА, зарубежные аналоги данной установки стоят в несколько раз дороже, в пределах 10-13 миллиардов рублей.
Второй комплекс, разработанный в СПбПУ, предназначен для создания наноструктур, необходимых для работы различного микроэлектронного оборудования. Он включает базмасочный литограф для первого этапа процесса и машину для плазмохимического травления кремния для второго этапа.
Вторая установка использует изображение, созданное на подложке на первом этапе. Она предназначена для формирования наноструктур и может также создавать кремниевые мембраны, которые могут быть использованы, например, в судовых датчиках избыточного давления, сообщает РИА «Новости».
Авторы проекта утверждают, что созданные на данной установке мембраны превосходят по надежности и чувствительности те, которые изготавливаются методами жидкостного или лазерного травления. Они также подчеркивают, что это полностью отечественный продукт.
Стоимость второй установки не называется.
Где разработки найдут свое применение
Комплекс из двух установок, созданный в СПбПУ, имеет потенциальный спектр применения, включая увеличение срока службы радиолокационного оборудования. Также система потенциально может улучшить разрабатываемые солнечные панели — в частности, уменьшить их размер и массу, а также «научить» их работать в пасмурную погоду. Сейчас неизвестно, заинтересовались ли российские производители микросхем этими установками и когда решение начнут использовать на реальном производстве. Разработчики также планируют оснастить установки искусственным интеллектом для совершенствования комплекса для литографии.
СПбПУ не единственный вуз, работающий над передовыми решениями для литографии. Институт прикладной физики РАН также стремится сократить отставание России в производстве микросхем и разрабатывает первый отечественный литограф для выпуска чипов по топологии 7 нм. Однако полноценная работа оборудования может начаться только к 2028 году.
Что ж, остается лишь порадоваться на российскую микроэлектронику. Ставьте лайк 👍 и подписывайтесь на канал ISPsystem в Дзене!