Исследователи Санкт-Петербургского политехнического университета (СПбПУ) разработали отечественный литографический комплекс для безмасочного производства микросхем методом травления, что является важным шагом на пути к самодостаточности российской микроэлектроники. Один из инструментов стоит пять миллионов рублей, что соответствует цене современного автомобиля, стоимость другого неизвестна.
Комплекс состоит из двух инструментов. Первое устройство предназначено для "безмасочной нанолитографии", оно проецирует изображения на подложки без маски. Второй инструмент, который строится на основе шаблонов подложек, созданных первым, отвечает за формирование наноструктур методом травления. Кроме того, на этой установке можно изготавливать кремниевые мембраны для таких применений, как датчики избыточного давления на кораблях. Примечательно, что эти мембраны, как утверждается, будут более надежными и чувствительными, чем те, которые изготавливаются другими методами.
Достижения России в области микроэлектроники происходят на фоне общей борьбы с мировыми стандартами производства микросхем. В настоящее время производство микросхем в стране ограничено технологическим процессом 65 нм.
Помимо производства чипов или кремниевых мембран, эти две установки могут принести существенную пользу и другим отраслям промышленности. Например, они могут увеличить срок службы радиолокационного оборудования более чем в 20 раз. В области "зеленой" энергетики эти установки могут миниатюризировать солнечные батареи, делая их более легкими и повышая их эффективность.
Разработчики имеют грандиозные перспективы развития своего изобретения. Они рассматривают возможность внедрения искусственного интеллекта в обе машины для расширения их возможностей. Однако пока неясно, проявили ли интерес к этим устройствам российские производители микросхем, и нет никаких сроков, когда эти инструменты будут внедрены в реальное производство.
