Shanghai Micro Electronics Equipment (SMEE), самый успешный китайский производитель литографических сканеров, подтвердил на этой неделе планы выпустить к концу года свой первый сканер, способный производить чипы по 28-нм техпроцессу, сообщает TechWire Asia со ссылкой на газету Securities Daily.
Для SMEE сканер SSA/800-10W является прорывом, поскольку самый совершенный сканер, который есть у компании сегодня, способен производить микрочипы только по 90-нм и более старым процессам производства. Инструмент для литографии с поддержкой 28-нм технологии со временем позволит китайским производителям микросхем полагаться на отечественное литографическое оборудование.
Этот шаг является частью широкой цели Китая по достижению самообеспеченности полупроводниками и снижению зависимости от иностранных технологий. Но остается вопрос, сможет ли SMEE производить этот сканер в массовых количествах и когда она сможет сделать такие сканеры доступными для замены машин ASML, Canon и Nikon.
Последние экспортные правила правительства США не позволяют китайским производителям микросхем получить доступ к инструментам и технологиям, необходимым для создания непланарных транзисторных логических микросхем размером менее 14/16 нм, микросхем 3D NAND с более чем 127 активными слоями и микросхем DRAM меньше 18 нм. Ограничения Нидерландов, Японии и Тайваня, вступившие в силу этой осенью, еще больше изолировали китайские компании, такие как SMIC и YMTC от передовых инструментов. Эти ограничения мешают производить чипы с использованием новейших производственных процессов.
В результате Китаю необходимы собственные передовые инструменты литографии, чтобы гарантировать, что производители микросхем смогут производить чипы даже по довольно продвинутым техпроцессам. На данный момент похоже, что компания Shanghai Micro Electronics Equipment готовится представить свой 28-нм сканер SSA/800-10W, который будет использоваться либо в SMIC, либо в институте по исследованию микросхем.
После этого производителю микросхем все равно потребуется некоторое время, чтобы интегрировать новый сканер в свой производственный процесс. Однако это произойдет только в том случае, если SMEE сможет произвести достаточное количество таких инструментов.
