Найти в Дзене
НПК ОборонМетХим

Мишень для распыления из хрома (Cr) ЭРХ-1 — обзор

Оглавление

Магнетронное распыление — это прогрессивная технология нанесения тонкопленочных покрытий. Процесс распыления совершается в плазме диодного разряда в скрещенных полях — области пространства, где силовые линии магнитного поля образуют перпендикуляр к линиям тока. Мишень для распыления из хрома (Cr) ЭРХ-1 специально разработана таким образом, чтобы ионы рабочего газа (обычно аргона) «атаковали» её, буквально выбивая атомы. Частицы электролитического хрома оседают на поверхности, образуя почти невидимый слой толщиной от долей нанометра до нескольких микрон.

Мишень для распыления из хрома (Cr) ЭРХ-1
Мишень для распыления из хрома (Cr) ЭРХ-1

В отличие от других способов создания тонкопленочных покрытий (ионно-плазменного распыления, химического осаждения, индукционного испарения), рассматриваемая технология позволяет избежать перегрева поверхности подложки. Следовательно, мишень для распыления ЭРХ-1 позволяет обрабатывать полимерные материалы с низкой термостойкостью, востребованные в микроэлектронике и компьютерной технике.

В зависимости от решаемой задачи в ход идут разные марки металла; одной из наиболее популярных является рафинированный электролитический хром. Внешне ЭРХ-1 представляет собой блестящие, серебристые с голубоватым оттенком чешуйки размером около 30 мм, толщиной не более 2,5 мм. Они очень хрупкие и почти не смачиваются маслом. Содержание основного компонента согласно ТУ 14-22-164-2002 — 99,95 %; остальные 0,05% распределены между примесями. Данные мишени для распыления из хрома можно приобрести в ООО «НПК «ОборонМетХим».

Содержание легирующих добавок в электролитическом хроме ЭРХ-1, %
Содержание легирующих добавок в электролитическом хроме ЭРХ-1, %

Способы производства мишеней для распыления хрома ЭРХ-1

Как же хаотичная россыпь чешуек высокочистого хрома превращается в компактную мишень? Существует два метода производства: горячее изостатическое прессование ГИП и экструзия — горячее прессование, сокращенно ГП.

При ГИП-технологии чешуйки ЭРХ-1 помещают в тонкостенную капсулу под давлением и высокой температурой. Капсулы обычно изготовляют из углеродистого тонколистового проката, а протекает процесс в специальных герметичных камерах — газостатах. После загрузки заполненных сырьем капсул камеру закрывают, откачивают из нее воздух, заменяя его аргоном. Давление, необходимое для спекания частиц — от 100 до 200 мПа, рабочая температура — от 900 до 2250 °C. Важно, чтобы температура была на 20% ниже солидуса обрабатываемого материала. То есть даже самый легкоплавкий компонент не должен начать плавиться.

Оболочку капсулы с готовой прессовки удаляют механическим способом. Полученное изделие может быть подвергнуто дополнительным операциям — катанием, термо- или мехобработкой.

Горячее прессование ГП — это одновременный нагрев и сжатие порошка в закрытой жаропрочной пресс-форме. Оно обеспечивает беспористую мелкозернистую структуру, по твердости металлоизделия не уступают литым аналогам. Они отличаются более точными размерами, высоким пределом прочности и лучшей электропроводностью по сравнению с изделиями, которые были изготовлены простым сжатием и спеканием порошка. Метод подходит для изготовления сложных форм и нестандартных конфигураций.

Внешний вид упакованных мишеней для распыления из хрома (Cr) ЭРХ-1 производства «НПК «ОборонМетХим» (в профиль)
Внешний вид упакованных мишеней для распыления из хрома (Cr) ЭРХ-1 производства «НПК «ОборонМетХим» (в профиль)

Электролитический хром, как и следует из его названия, получают методом электролиза. Данный метод был освоен в 1963 году на Новотульском металлургическом заводе.

Исходным сырьем служит раствор ангидрида хрома CrO₃(VI) в серной кислоте H₂SO₄. В качестве анода выступает свинцовая водоохлаждаемая ванна, катода — труба из нержавеющей стали или алюминия. В результате прохождения электрического тока через раствор на катоде образуется чешуйчатый слой хрома с чистотой около 99%, который снимают, обстукивая трубу молотком. Затем металл избавляют от остатков азота и кислорода путем нагрева в водородной среде при температуре 1500 °C или перегонки в глубоком вакууме.

Области использования распыляемых хромовых мишеней

Электролитический хром используют для обработки деталей автомобилей, мото- и велотехники, изготовления прожекторов, зеркал и отражателей, повышения износоустойчивости металлов, резин, пластмасс и кожи. В сочетании с другими материалами его применяют для создания наноструктурированных многофункциональных покрытий — термобарьерных, антикоррозионных, сверхтвердых и т. д.

Применение предметов с хромированным покрытием

Тонкопленочные покрытия пользуются спросом в машиностроении, авиационной и космической промышленности, энергетике, медицине и цифровой электронике. Они применяются для повышения износо- и коррозиестойкости инструментов и оборудования, изменения оптических свойств, создания магнитных сред для записи информации, отражающих и светопроводящих покрытий, производства биофильтров, фотоэлектрических элементов, жидкокристаллических и плазменных дисплеев.

Внешний вид мишени из хрома
Внешний вид мишени из хрома

Тонкие пленки употребляют даже в бытовых, декоративных целях — хромовые мишени нужны для изготовления зеркал с антибликовым эффектом, ювелирных изделий и тонированных архитектурных стекол. Предметы с хромированным покрытием встречаются буквально на каждом шагу — мебельная фурнитура, колесные диски, сантехника, кухонная утварь и посуда, корпуса часов.

Основные свойства ЭРХ-1:

  • высокая износостойкость;
  • низкий коэффициент трения;
  • устойчивость к щелочам, кислотам и солям;
  • хорошая адгезия;
  • эстетичный внешний вид.
Упаковка мишени для распыления из хрома ЭРХ-1 в «НПК «ОборонМетХим»
Упаковка мишени для распыления из хрома ЭРХ-1 в «НПК «ОборонМетХим»

Заказать мишени для распыления из хрома (Cr) ЭРХ-1 по выгодной цене

ООО «НПК «ОборонМетХим» производит промышленные металлозаготовки, в том числе хромовые мишени для магнетронного и вакуумного распыления. Мишени из ЭРХ-1 обладают однородной структурой и высокой чистотой — содержание остаточных примесей не более 0,05%. Мы строго соблюдаем условия и сроки доставки, предлагаем лояльную систему оплаты — рассрочку платежа, скидки на крупные партии и бонусы для постоянных клиентов. Организуем отправку в любой населенный пункт России и СНГ наземным, воздушным или водным транспортом. Вы можете получить бесплатную консультацию специалиста относительно наших мишеней.