H60 Piezo Hexapod - это пьезокаскад с 6-осевым перемещением θx, θy, θz, X, Y и Z. 6-осевое перемещение в пространстве осуществляется за счет скоординированного расширения и сжатия шести пьезоэлектрических приводов.
http://www.coremorrow.com/en/pro-23-1.html
Типичные области применения：
• точное позиционирование по 6 осям
• Полупроводниковое оборудование
• Литография
• Контроль пластин/микрообработка
• Медицинский
• Аэрокосмическая промышленность
#6-осевое движение #пьезоэлектрические #приводы #отклоняющая_ступень
H60 Piezo Hexapod is a piezo stage with 6-axis motion of θx, θy, θz, X, Y, and Z. 6-axis movement in space is realized by the coordinated expansion and contraction of six piezoelectric actuators.
http://www.coremorrow.com/en/pro-23-1.html
Typical Applications：
• 6 axes precise positioning
• Semiconductor equipment
• Lithography
• Wafer inspection/micromachining
• Medical
• Aerospace
#6axis_motion #piezoelectric #actuators #deflection_stage