В конце 2021-го года я уже писал про государственные контракты по микроэлектронике. В феврале этого года на сайте госзакупок появился очередной примечательный НИР на тему «Разработка и освоение производства литографических материалов для микроэлектронного производства». Шифр «Фотолиз». Цена контракта чуть больше миллиарда рублей (1 146 600 000).
В процессе научно-исследовательской работы предполагается создание фоторезистов для использования в процессе фотолитографии с длинной волны лазерного излучения 248 нм. Такой длиной волны будут обладать разрабатываемые в настоящее время литографы для топологических норм 350 и 130 нм.
Фоторезисты представляют собой светочувствительные материалы, которые наносятся на кремниевую пластину в процессе изготовления микросхем. Далее производится экспонирование (засвечивание) фоторезиста через фотошаблоны с последующим вытравливанием сформированных такой засветкой структур на кремниевом кристалле.
Актуальность работы обусловлена прекращением поставок фоторезистов и антиотражающих покрытий иностранного производства для изготовления интегральных схем при отсутствии российских разработок и производства аналогичных материалов.
Разработанные технологические решения по производству материалов должны отвечать современным требованиям экологической и экономической эффективности и обеспечивать возможность наработки опытных партий материалов для обеспечения потребностей предприятий производителей ЭКБ.
Потенциальными потребителями материалов согласно документу являются АО «Микрон» и ООО «НМ-Тех».
Цель проведения работы
Разработка и освоение производства фоторезистов, а именно марки ФР248-01, марки ФР248-02, марки ФР248-03, марки ФР248-04, марки ФР248-05 и двух антиотражающих покрытий, а именно марки ПА248-01, марки ПА248-02.
Задачи работы
- Проведение теоретических и экспериментальных работ.
- Проведение опытно-технологических работ и предварительных испытаний опытных партий.
- Проведение приемочных испытаний опытных партий.
- Подготовка и освоение производства.
Распределение оплаты
- 2023 год — 950 440 000 руб.
- 2024 год — 183 660 000 руб
- 2025 год — 12 500 000 руб.
в том числе по этапам:
- 1 этап — Теоретические и экспериментальные исследования по разработке технологии производства материалов (до 12.12.2023) — 310 000 000 руб.
- 2 этап — Проведение опытно-технологических работ и предварительных испытаний опытных партий материала (13.12.2023—12.12.2024) — 711 600 000 руб.
- 3 этап — Проведение приемочных испытаний опытных партий материалов, подготовки и освоения производства материалов (13.12.2024—12.12.2025) — 125 000 000 руб.
Почему именно к 2026-му году?
К этому году должны закончится НИРы по установкам травления и осаждения, а также по литографу с топологической нормой 130 нм.
Кто взялся выполнять?
6 марта 2023 года был определён исполнитель, как «единственный поставщик услуг». Дата подведения официальных итогов определения исполнителя назначена на 9 марта 2023 года. Видимо, тогда он и станет известен.
Скорее всего, это будет АО «НИИМЭ», которое уже выполняет ОКР «Разработка и освоение производства чувствительного к актиничному излучению с длиной волны 193 нм фоторезиста для микроэлектронного производства», шифр «Резист-1», который начат 13.12.2021 и должен закончится 31.12.2024.
Также подобными компетенциями обладает ООО «Поликетон», о котором я уже упоминал в своей статье конца прошлого года «Химия для фотолитографии 10 нм в России».
Ещё фоторезистами у нас занимается АО «Ниопик».
Заключение
В общем, караван идёт. Наверное, медленно, но неумолимо. Понятно, что тема будет дожиматься до результата. В домишустинскую эпоху я бы в этом не был столь уверен, но сегодня и премьер другой, и обстановка не даёт других вариантов.
А ведь я ещё 2 года назад писал, что микроэлектронику будут дожимать. Было много скептиков в комментариях, но пока мы видим, что таки жмут. Серьёзность планов я анализировал также и в другой статье того же периода. Была и третья статья на ту же тему, где я уже другими аргументами доказывал то, что микроэлектроникой занялись всерьёз и надолго. Ну вот и статья годичной давности. из которой видно, что курс остаётся прежним.
Вообще, я много писал на эту тему, каждый раз начиная новую статью в ответ на шквал скептицизма. Но недоверие будет всегда — слишком уж часто обманывали народ начиная с 90-х и продолжая периодом Медведевского премьерства. Мишустину приходится снова завоёвывать доверие народа, и потребуется для этого ещё не один год.
Думаю, что основная масса специально не заряженного народа поверит в Россию где-то начиная с 2026-го года, когда появятся первые результаты основных НИРов. Ну, а упёртые всегда будут ныть, что да, литографы есть, но это «прошлый век» и т.п., забыв, что 5 лет назад они же говорили, что литографов вообще не будет и это всё «попил бабла».
Так всегда и бывает. В 2040-м году будут говорить, что импортозамещение так и не состоялось полностью (несмотря на то, что импортозамещать всё полностью никто и не собирался ввиду банального отсутствия достаточного количества населения). Поле для критики будет всегда, только оно не отменяет и поводов для гордости. Это нормально.
На сегодня всё. Ставьте нравлики и подписывайтесь на мой канал. Свои мысли оставляйте в комментариях. Удачи! :-)