Инновационное оборудование для производства нитрида галлия откроет новые горизонты в отечественной микроэлектронике
Российские учёные успешно испытали первую промышленную установку для получения кристаллов нитрида галлия на кремниевых подложках. Событие знаменует собой важный шаг в развитии отечественной микроэлектроники. Нитрид галлия – ключевой материал для создания высокочастотных электронных компонентов. Россия стала четвертой страной в мире, которая начала производить такое оборудование. Серийное производство установки планируется запустить в этом году.
Как происходит выращивание кристаллов
Установку разработали учёные и инженеры из АО «НИИТМ», НТЦ микроэлектроники РАН и ООО «Софт-Импакт». Созданное оборудование позволяет получать кристаллы на подложках диаметром до 200 мм. Специалисты подчеркивают, что этот процесс, известный как эпитаксия, стал основой для создания микрочипов. В процессе выращивания кристаллов используются специальные газы, которые при высокой температуре осаждаются на подложку, формируя необходимые слои.
Установка может производить до 2000 пластин в год, что станет значительным объемом, учитывая, что на одной пластине может разместиться множество транзисторов.
Преимущества и перспективы
Одним из главных достоинств новой установки станет возможность её самостоятельной эксплуатации и обслуживания российскими специалистами. Значительно снизится зависимость от зарубежных поставщиков и откроются новые горизонты для научных исследований.
Характеристики нитрида галлия позволяют применять его в составе самых мощных устройств. Например, в управляющей микроэлектронике для быстрых зарядных станций.
— Юлия Сухорослова, директор направления электронного машиностроения ГК «Элемент»
По ее словам, компоненты на основе нитрида галлия могут использоваться в различных устройствах, включая зарядные станции и системы машинного зрения для беспилотных автомобилей.
Сейчас рынок изделий на основе нитрида галлия находится на стадии формирования, но его потенциал сопоставим с кремниевой электроникой. Максим Ганыкин, заместитель генерального директора АО «НИИМЭ», отметил, что наличие отечественных технологий позволит решить проблемы с закупкой оборудования за границей и обеспечит современную компонентную базу для различных отраслей, включая телекоммуникации и энергетику.
Новая установка для роста кристаллов нитрида галлия открывает перед Россией возможности для развития микроэлектроники и уменьшения зависимости от импорта. Ее запуск станет важным шагом к созданию высокотехнологичного производства и укреплению позиций страны на мировом рынке.
Читайте ещё по теме:
Средства для управления высокочастотной магнитной микроэлектроникой разрабатывают в России