В России упростили изготовление нанопленок из соединений металлов

Усовершенствовать одну из ключевых технологий производства наноразмерных пленок из соединений металлов смогли специалисты ТПУ. По словам авторов, разработка позволит быстрее и с большей точностью получать изделия, востребованные в электронике и оптике, в ядерной, космической и других сферах, сообщили в пресс-службе вуза.

Магнетронное распыление – один из самых популярных методов производства тонкопленочных изделий из металлов и их соединений, рассказали ученые. Он позволяет получать покрытия толщиной от 10 нанометров до единиц микронов за счет бомбардировки металлической мишени ионами плазмы, передает РИА «Новости».

При создании оксидов и ряда других соединений по этой технологии, по словам ученых, часто возникает проблема: атомы неметаллов создают на поверхности металлической мишени слой оксида или нитрида, снижающий эффективность процесса обработки.

Команда специалистов Томского политехнического университета разработала новый подход к технологии магнетронного распыления, по их словам, позволяющий увеличить качество получаемых покрытий, а также упростить и ускорить процесс обработки.

Как сообщил доцент Научно-образовательного центра Б. П. Вейнберга Инженерной школы ядерных технологий ТПУ Дмитрий Сиделев, ученые решили проблему формирования нежелательной кислородной пленки на поверхности металлический мишени путем добавления этапа обработки изделия высокочастотной индуктивно-связанной плазмой. Они показали возможность высокоскоростного получения пленок оксида меди с требуемым элементным составом.

По словам авторов, технология найдет широкое применение в современной оптике, электронике, медицине, в космической и ядерной отрасли, а также в ряде других областей. Скорость получения изделий по новому методу превосходит существующие аналоги в два-пять раз, подчеркнули специалисты.

Оксид меди, как объяснили ученые, послужил для исследования модельным материалом, но сама предложенная технология подходит также для работы с другими соединениями металлов.

Ранее специалисты Томского политехнического университета (ТПУ) разработали недорогое дизельное топливо, устойчивое к замерзанию даже при -70°С.