При испытании новой установки ZEISS ORION сотрудники НОЦ «Функциональные микро/наносистемы» воссоздали герб МГТУ в наномасштабе. Минимальный зазор между элементами — 31 нанометр: это в тысячу раз меньше диаметра волоса человека.
Первый в России новейший сверхпрецизионный гелиевый нанофаб компании ZEISS позволяет ученым создавать функциональные элементы устройств размером менее 10 нанометров с атомарной точностью почти из любых материалов.
Такое устройство обеспечивает новые возможности изготовления микро- и наноструктур, включая гибридные процессоры, фотонные интегральные схемы, системы типа «лаборатория-на-чипе» и «орган-на-чипе», а также секвенатора ДНК.
Благодаря плавному переключению ионных пучков галлия, неона и гелия прибор решает задачи обратной инженерии и формирования трехмерных нанообъектов. Таким образом можно создавать небольшие прототипы устройств – например, для проверки их физических и химических параметров. Помимо этого, его можно использовать для сверхточной «доработки по месту», когда сами приборы создаются массовыми технологиями изготовления и только отдельные наноструктуры улучшаются с помощью нанофаба.
Сегодня в мире всего несколько десятков единиц оборудования такого, и в России эта новейшая установка появилась впервые с нашем Университете.
Больше о новостях Центра читайте в их телеграм-канале: https://t.me/fmnlab