На их разработку Минпромторг выделил 5,7 миллиарда рублей. Проектные работы в Зеленоградском нанотехнологическом центре уже начались.
Планируется создание сканеров с уровнем топологии до 350 нм и до 130 нм. В будущем российские фотолитографы заменят зарубежные. Литографы на 350 нм должны пойти в серию в 2025 году. А на 130 нм — в 2026-м.
350-нанометровый литограф будет весить 3,5 тонны и иметь размеры 2 на 2,6 на 2,5 метра. Управляющий комплекс имеет габариты 2 на 0,8 на 1,6 метра. Отмечается, что литограф сможет обрабатывать 150- и 200-миллиметровые кремниевые подложки. Для установки возьмут уже готовый полупроводниковый лазер отечественного производства.
- Читайте на нашем сайте:
Появилось видео «самоубийственного» полета спутников Илона Маска
Что касается 130-нанонметрового сканера, то для него придется разработать отдельный 193-нанометровый лазер. Такой литограф сможет обработать до сотни 200-миллиметровых пластин за час. В планах на будущее — модернизация 130-нанонметровой установки до 65-нанометровой.
Цель проекта — решить проблему с промышленным производством электроники в России в случае санкций со стороны США.
Из других интересных новостей: представлен доступный смартфон Realme с большим аккумулятором, FHD+ экраном и 50-Мп камерой.
