Весь кристалл акселерометра размером 3,05•3,05 мм занят глав- ным образом схемами формирования сигнала, которые окружают миниатюрный датчик ускорения размером 1•1 мм, расположенньгй в его центре.
Датчик ггредставляет собой дифференциальную конденсаторную структуру с воздушным диэлектриком, обкладки которого вырезаны (вытравлены) из плоского куска поликремниевой пленки толщиной 2 мкм. Неподвижные обкладки этого конденсатора представляют со- бой простые консольные стержни, расположенные на высоте 1 мкм от поверхности кристалла в воздухе на поликремниевых столбиках- анкерах, приваренных к кристаллу на молекулярном уровне (рис. 37). Инерционная масса датчика ускорения при изменении скорости перемещения кристалла смещается относительно остальной части кристалла. Ее пальцеобразные выступы образуют подвижную об- кладку конденсатора переменной емкости. С каждого конца эта структура опирается на столбики-анкеры, аналогичные по кон- струкции держателям неподвижных обкладок. Растяжки по концам инерционной массы, удерживающие ее на весу, являются как бы механическими пружинами постоянной упругости, ограничиваю- щими перемещение пробной массы и ее возврат в исходное положение.
Поскольку перемещение инерционной массы должно происхо- дить в плоскости поликремниевой пленки, ось чувствительности датчика лежит в этой плоскости, и, следовательно, она параллель- на плоскости печатной платы, к которой припаивается датчик.