Преимуществами технологии ЗD-МЭМС являются следующие:
- использование монокристаллического кремния для изготовле- ния МЭМС (идеально упругий материал: нет пластической дефор- мации, выдерживает до 70000g циклов ускорений);
- емкостной принцип действия датчиков (обеспечивает прямое измерение отклонения в зависимости от большого числа вариантов величины зазора между двумя плоскими поверхностями; при этом емкость или заряд на паре пластин зависят от величины зазора между ними и площади пластин);
- высокий уровень точности и стабильности;
- легкая диагностика при помощи ограниченного числа конден- саторов;
- низкая потребляемая мощность;
- высокая герметичность датчиков (позволяет снизить требова— ния к упаковке; обеспечивает высокую надежность, так как части- цы или химические вещества не могут попасть в элемент);
- симметричные структуры элементов (улучшенная стабильность ноля акселерометра; линейность и чувствительность по оси (нели- нейность обычно ниже 1 %; чувствительность по оси обычно не пре- вышает 3 %); низкая зависимость показаний от температуры);
- возможность производства датчиков по индивидуальному за- казу (получение конкретных уровней чувствительности и частот— ных характеристик, необходимых заказяику; гибкие двухчиповые решения);