Такая конструкция корпуса гарантирует надежную работу сен- соров на протяжении всего жизненного цикла. Для обеспечения стабильного выхода акселерометры подобного класса разрабаты- ваются, производятся и тестируются в піироком диапазоне темпе- ратур, влажности и механического шума. У датчика акселерометра есть возможность самодиагностики по нескольким сценариям. Он полностью совместим с одно- и двухосевыми акселерометрами данного типа, что дает возможность комбинировать датчики при построении различных сенсорных систем.
ЗD-МЭМС представляет собой инновационное сочетание тех- нологий для формирования кремния в трехмерные структуры, ин- капсуляции и контактирования в целях легкого монтажа и сборки сенсоров. В результате обеспечиваются высокая точность сенсора,
маленький размер устройства и низкое потребление энергии. Та- ким образом, усовершенствованный сенсор может быть изготов— лен в виде крошечного кусочка кремния, способного измерять ускорение в трех ортогональных направлениях.
Применяя технологию ЗD-МЭМС, можно производить оптими- зированные структуры для точных датчиков угла наклона. Такие структуры обеспечивают механические затухания в акселеромет- pax и позволяют использовать сенсоры в условиях сильной вибра— ции и в высокоточных альтиметрах. Энергопотребление рассмат— риваемых акселерометров является крайне низким, что дает им значительное преимущество при использовании в устройствах с батарейным питанием. В то же время использование технологии ЗD-МЭМС при производстве инклинометров обеспечивает точ- ность уровней измерения выше одной угловой минуты и отвечает самым высоким требованиям к качеству измерения.