Керамический корпус датчика изготовлен по технологии LCC и представляет собой многослойную оксидно-алюминиевую кон— струкцию с внутренними контактными площадками для разварки, соединенными через корпус с наружными контактными площад- ками посредством многослойных вольфрамовых межсоединений. Аналогичные интегральные межсоединения есть в крышке гиро- скопа, что обеспечивает размещение чувствительного элемента датчика внутри щита Фарадея и хорошие электромагнитные пока- затели гироскопа. При этом внутренние и наружные контактные площадки покрыты гальваническим путем слоем никеля и золота.
Kopпyc включает в себя уплотнительное кольцо, на верхней ча- сти которого шовной сваркой приварена металлическая крышка. Сварка произведена электродом сопротивления, что создает пол- ную герметичность конструкции. В отличие от большинства МЭМС-корпусов, представленных на рынке, при изготовлении корпуса данного устройства используется специально разработан- ная шовная сварка, при которой исключена возможность образо- вания комочков (брызг) сварки внутри гироскопа. При использо- вании других технологий сварки сварочные брызги могут попа- дать на нижние конструкции и негативно влиять на надежность гироскопа за счет воздействия на вибрирующий МЭМС-элемент, особенно в тех местах, где конструкции имеют небольшие зазоры. В корпусе также есть встроенный датчик температуры для обеспе- чения внешней термокомпенсации.