Пленочные приводы и преобразователи прикреплены к верхней поверхности кремниевого кольца по периметру и для получения электроэнергии подключены к связующим контактам в центре концентратора через треки на спицах. Они переводят периметр кольца в рабочий режим вибрации на уровне cos28 с частотой 22 кГц, определяя радиальное перемещение, которое может осу- ществляться по причине первичного движения привода либо за счет действия силы Кориолиса, когда гироскоп вращается относи- тельно его оси чувствительности. Существует одна пара приводов первичного движения, одна пapa первичных снимающих преобра- зователей и две пары вторичных снимающих преобразователей.
Комбинация сенсорной технологии и восьми вторичных сни- мающих преобразователей улучшает соотношение «сигнал/шум» в датчике, uтo позволяет получать малошумящие устройства с от— личными свойствами по угловому случайному дрейфу гироекопа, которые являются ключевыми для применения в сферах инерци— альной навигации (например, стабильность наведения камеры или антенны). Описанную схему можно сравнить с камертонной структурой, содержащей бесконечное количество камертонов, ин- тегрированных в единую балансируюіцую вибрирующую кольце- вую конструкцию, что обеспечивает наиболее высокую стабиль- ность измерения угловой скорости по времени, температуре, виб- рациям и ударам для МЭМС-гироскопов данного класса.
Концентратор в центре кольца сенсора установлен на цилин-
дрическом кремниевом основании диаметром 1 мм, которое связа- но с кольцом и ASIC с помощью эпоксидной смолы. Микросхема
гироскопа имеет габариты 3•3 мм и изготовлена по технологии 0,35 мкм KMOП. ASIC и МЭМС-сенсор (кольцо) разделены физи- чески, но соединены электрической цепью через золотые провод— ки. В связи с этим в подобной схеме отсутствуют внутренние ка- налы, что позволяет уменьшить шумовую нагрузку и получить отличные электромагнитные свойства.