Кремниевый кольцевой МЭМС-сенсор, микросхема и кремние- вое основание размещены в герметичной части корпуса с вакуу- мом, частично заполненного азотом. Это дает серьезные преиму- щества перед сенсорами, которые поставляются в пластиковых корпусах или имеют определенные ограничения чувствительности в зависимости от уровня влажности.
Диаметр кремниевого МЭМС-кольца 3 мм, толщина 65 мкм. Его изготавливают методом глубокого реактивного ионного трав- ления объемных кремниевых структур на пяти плаетинах. Кольцо поддерживается в свободном пространстве восемью парами сим— метричных спиц, которые исходят из твердого концентратора диа- метром 1 мм в центре кольца.
Процесс объемного травления кремния и уникальная техноло- гия изготовления кольца позволяют получить хорошие геометри- ческие свойства, необходимые для точного баланса и термической стабильности сенсорного кольца. В отличие от других гироскопов здесь нет мелких расхождений, создающих проблемы с интерфе- ренцией и зрением. Указанные особенности определяют стабиль- ность датчика при колебаниях температуры, вибрации или ударе. Еще одним преимуществом подобной конструкции является ее
«врожденный» иммунитет к ошибкам, которые датчики могут вы- давать под влиянием ускорения, или «g-чувствительности».