Часто комментариях под статьями про разработку отечественных фотолитографов читатели справедливо предупреждают, что литограф — это не единственное, что должно быть на фабрике. Например, нужны ещё установки травления и осаждения и чистая химия (фоторезисты и т.п.).
В конце прошлого 2021-го года года стартовали НИРы по этим установкам, то есть мы вполне себе собираемся их делать:
- ОКР «Разработка и изготовление промышленно-ориентированного технологического комплекса плазмохимического травления (ПХТ) кластерного типа с технологическими модулями: - модуль травления металлов; - модуль ICP RIE анизотропного высокоселективного травления кремния и поликремния; - модуль удаления фоторезистивных и полимерных слоев; - модуль травления высокоаспектных диэлектрических структур и роботизированной системой транспортирования пластин с использованием FOUP контейнеров», шифр «Кластер ПХТ 65»
- ОКР «Разработка и производство промышленно-ориентированного технологического комплекса плазмохимического осаждения (ПХО) на базе кластерной системы с технологическими модулями: - модуль PECVD осаждения нитрида кремния; - модуль PECVD осаждения оксида кремния (SiH4/N2O); - модуль PECVD осаждения оксида кремния (TEOS); - модуль субатмосферного осаждения оксида кремния из TEOS/03 и роботизированной системы транспортирования пластин с использованием FOUP контейнеров», шифр «Кластер ПХО 65».
А что с химией? Эту проблему тоже планируется решать. Например, в Нижегородской области собираются организовать выпуск таких материалов для фотолитографии. Темой занимается ООО «Поликетон» (Polyketone) в создаваемом в Нижегородской области инновационном научно-технологическом центре «Квантовая долина».
Предприятие Polyketone занимается созданием полимерных пленкообразующих композиций с заданными свойствами для микро- и нанолитографии по проектным нормам от 160 до 10 нм (фоторезисты, антиотражающие покрытия, планаризирующий слой).
Предприятие ставит перед собой задачу замещения импортных фоторезистов, фоторезистами отечественного производства по конкурентным ценам.
Планируется 3 этапа проекта:
Этап 1. Разработка полимерных материалов для критических и некритических слоев многослойной структуры под требования технологического процесса с проектными нормами менее 160 нм.
Этап 2. Получение опытных образцов полимерных композиций, тестирование данных материалов на предприятиях производителях ИС. Оптимизация полимерных композиций в соответствии с требованиями и с целью достижения проектных норм 90-60 нм.
Этап 3. Организация опытного производства исходных полимерных материалов и приготовления готовых полимерных композиций для критических и не-критических слоев литографического процесса с проектными нормами менее 90 нм. Формирование ТУ и описания методик синтеза исходных полимерных компонентов. Отработка методик контроля готовых полимерных композиций согласно требованиям микроэлектронной промышленности.
Поликетон — одна из компаний, отобранных в резиденты создаваемого в Нижегородской области ИНТЦ «Квантовая долина» и готовая инвестировать в создание инфраструктуры ИНТЦ. Земля выделена в 2021 году, 140 тыс кв.м, первые объекты должны появиться в 2026 году. Участников привлекают в ИНТЦ обещанные государством налоговые льготы.
Во всём этом удивляет только одно, а именно:
Земля [для ИНТЦ «Квантовая долина»] выделена в 2021 году, ...первые объекты должны появиться в 2026 году.
То есть, время строительства первого объекта ИНТЦ «Квантовая долина» составляет 5 лет. Это как? Собирают инвесторов? А нельзя ввиду важности проекта инвестировать самому государству и начать уже вчера?
Ставьте нравлики, пишите в комментариях и подписывайтесь на канал, пока!