Зеленоградский завод «Микрон» (входит в группу компаний «Элемент») выиграл контракт Минпромторга на разработку автоматизированной установки измерения рассовмещения топологических слоев на кремниевых пластинах.Агентство бизнес новостей
Стоимость контракта составляет 1,56 млрд рублей.iXBT.com
Цель проекта — создать отечественный аналог американской установки ARCHER 10 XT от компании KLA Tencor.iXBT.com
Установка должна сканировать структуры слоев посредством интерферометра, встроенного в оптическую колонну и формировать пакет данных для коррекции процесса экспонирования.Ruposters.ru