Легирование полупроводников методом ионной имплантации (введения примесей в материал) – один из ключевых технологических процессов в электронике.Naked Science
Другая особенность традиционной имплантационной технологии – проведение отжига.Naked Science
Иллюстрация эксперимента / ©Пресс-служба ННГУ Ученые ННГУ провели имплантацию ионов галлия в монокристаллический кремний, не препятствуя ионам двигаться по «каналам».Naked Science
Исследование опубликовано в международном журнале Materials Letters, который освещает передовые разработки в области материаловедения.Naked Science