Оборудование для микросхем «Микрон» совместно с «Московским институтом электронной техники» (МИЭТ) и Зеленоградским нанотехнологическим центром разработают оборудование для производства микросхем топологического уровня 28 нм и меньше.CNews
В Институте физики микроструктур РАН в Нижнем Новгороде и зеленоградском НПП «Электронное специальное технологическое оборудование» конструируют оптическую вакуумную систему с зеркальной оптикой и элементы системы позиционирования.CNews
В создание производства было вложено 16,5 млрд руб., из которых «Ситроникс» и Роснано (участники проекта)инвестировали по 6,5 млрд руб., а еще 3 млрд руб. были привлечены в виде займа.CNews
В ноябре 2021 г. стало известно о том, что Минпромторг разработку отечественного оборудования для производства чипов по топологии 130-65 нм до 2026 г., которая считалась передовой почти два десятка лет назад.CNews