В частности, речь шла о создании промышленных образцов сверхчувствительного наносенсора.Infopro54
В качестве изолятора используется не только оксид кремния, но и оксиды алюминия, оксид гафния, оксид циркония.Infopro54
― ИФП СО РАН является владельцем запатентованной технологии DeleCut: создания структур кремний на изоляторе (КНИ) и кремний на сапфире.Infopro54
За много лет плотного взаимодействия с «НЗПП Восток» у нас были проекты и в области фотоники, также мы создавали структуры кремний-на-изоляторе для приборов с повышенной радиационной стойкостью, структуры для различных сенсоров, ― рассказал Якушев.Деловой квартал (Новосибирск)