Санкт-Петербургском политехе разработан первый отечественный литограф
Сотрудниками СПбПУ созданы две установки, позволяющие «решить вопрос технологического суверенитета РФ в этом направлении в сфере микроэлектроники».FBM.ru
В комплекс устройств входят установки для безмасочной нанолитографии и плазмохимического травления кремния.CNews
Первая установка используется для получения изображения на подложке, без использования специальной маски.CNews
Руководитель научной группы Артем Осипов считает, что отечественные мембраны по надежности и чувствительности превосходят те, что изготавливаются методами жидкостного или лазерного травления.iXBT.com