В результате были произведены проектирование и сборка прототипа установки базового типа для термического атомно-слоевого осаждения, осуществляемого на нанометровом уровне с контролем толщины и прироста массы.РБК
Атомно-слоевое осаждение (АСО) является наиболее перспективной, последовательно разработанной технологией нанесения тонких пленок (нанопленок).РБК
С помощью данного метода возможно нанесение сверхтонких пленок различных материалов почти на любые типы поверхностей.РБК
АСО — ключевая технология, обеспечивающая выполнение задач современной промышленности, производящей интегральные схемы (ИС).РБК