Решена проблема обратной литографии - ключ к дальнейшей миниатюризации микросхем

В большинстве современных методов фотолитографии, которые применяются для создания микрочипов, свет с длиной волны 193 нм проходит сквозь линзы и фотомаску, попадая на кремниевую подложку в заданных местах.Хайтек+