Разработка относится к области сенсорной техники и нанотехнологий, в честности, к способам изготовления газовых сенсоров хеморезистивного типа.Научная Россия
1 этап: на фронтальную сторону диэлектрической подложки наносят набор компланарных полосковых электродов из благородного металла – наноструктурный слой оксида цинка и тонкопленочных меандровых нагревателей.Научная Россия
3 этап: в результате на подложке формируют иерархический слой наностержней оксида цинка, который промывают дистиллированной водой и отжигают при температуре 300-400°C в течение 0,5-2 ч.Научная Россия
Для управления плотностью заполнения пространства между полосковыми электродами слоем иерархических структур оксида цинка и размером пор в данном слое последовательность этапов повторяют многократно.Научная Россия