Исследователям Новосибирского государственного университета удалось добиться оптимальной гладкости и кристалличности материала.ЧС-ИНФО
Исследование проводилось в лаборатории функциональной диагностики низкоразмерных структур для наноэлектроники в рамках госзадания по разработке материалов для систем хранения и передачи информации.ЧС-ИНФО
На последнем этапе исследований научным сотрудникам лаборатории удалось получить пленки хорошего качества с необходимой гладкостью, что очень важно для применения материала в дальнейшем.ЧС-ИНФО
АТИЦ НГУ также располагал оборудованием, позволяющим выращивать пленки нитрида алюминия – установкой магнетронного распыления «Спутник».Байкал24