Зеленоградский нанотехнологический центр разработал установку безмасочной электронно-лучевой литографии с проектными нормами 150 нанометров.Инфопортал Зеленограда
В отличие от обычной фотолитографии, где рисунок на пластину переносится через фотошаблон, электронно-лучевая литография «рисует» изображение непосредственно на покрытой электрочувствительным резистом пластине с помощью сфокусированного пучка электронов.Инфопортал Зеленограда
В мае 2024 года ТАСС сообщил, что первый российский литограф с топологическими нормами до 350 нанометров создан и проходит испытания.Инфопортал Зеленограда
Весной 2025 года создание фотолитографа было завершено, и осенью оборудование уже нашло первого покупателя — входящие в ГК «Элемент» «Отраслевые решения».Инфопортал Зеленограда