Начальник отдела Минпромторга России Василий Шпак в беседе с CNews сообщил, что отечественный лазерный аппарат для литографии будет изготовлен после 2026 года.Актуальные Новости
Группа компаний "Лассард" уже сконструировала два опытных образца такого лазера.Актуальные Новости
Испытания начнутся в следующем году, а в 2026 году должно быть запущено серийное производство.iXBT.com
"Лазер дает возможность изменять характеристики в сторону более тонкой топологии. Более того, скажу, что мы уже ведем перспективные работы, разрабатывая материалы и заказывая исследования для установок 90 нм и 65 нм", - сказал Василий Шпак.Актуальные Новости