Ученые Южного научного центра РАН (Ростов-на-Дону) разработали принципиально новую технологию получения пленок сложных оксидов, которая позволяет создавать новую активную среду для микроэлектроники следующего поколения.Научная Россия
Нелинейные полифункциональные диэлектрики, в том числе сегнетоэлектрики, представляют собой новую активную среду для микроэлектроники следующего поколения с принципиально новыми свойствами.Научная Россия
Речь идет о тонких пленках многокомпантного оксида толщиной от 4 нанометров и выше.Научная Россия
В качестве основной идеи используется хорошо проверенный в микроэлектронике технологический прием: для достижения поставленной цели необходимо организовать последовательное выполнение большого количества операций при тщательном контроле каждой.Научная Россия