Ранее в рамках диссертационной работы и проекта «Мембраны для акустических микроэлектромеханических датчиков» по конкурсу РФФИ «Аспиранты» ученые Института нанотехнологий, электроники и приборостроения ЮФУ проводили исследование, связанное с разработкой и изготовлением кремниевых мембран в качестве чувствительного элемента (элемент, который воспринимает внешнее физическое воздействие), и успешно их применили в волоконно-оптическом акустическом приемнике, который был разработан Институтом автоматики и процессов управления Дальневосточного отделения Российской академии наук (ИАПУ ДВО РАН).Naked Science