В Петербурге ученые создали технологию формирования кремниевых наноструктур

Ученые Санкт-Петербургского политехнического университета Петра Великого (СПбПУ) разработали технологию формирования кремниевых наноструктур с помощью наносферной литографии и установки плазмохимического травления.Национальные проекты России