Найден способ замедлить деградацию тонкопленочных нагревателей для газовых сенсоров
Сотрудники химического факультета МГУ с коллегами с факультета наук о материалах МГУ предложили использовать двухстадийную программу отжига для повышения высокотемпературной устойчивости тонкопленочных микронагревателей для газовых сенсоров.Информационный центр Правительства Москвы