Китайская SMEE создала литографический сканер для выпуска 28-нм чипов

Сканер SSA/800-10W — крупный прорыв для компании, поскольку существующие машины серии SSA600 поддерживают технологические процессы 90, 110 и 280 нм.Хайтек+
Эта новость в СМИ