1 мин
Это оборудование предназначено для бесконтактного удержания кремниевых пластин в вакуумных установках при изготовлении микросхем, чипов и процессоров, что позволяет избежать механических повреждений и загрязнений.Монокль
Ранее помимо стендовых испытаний разработка была испытана в вакуумной установке для плазменной обработки полупроводниковых пластин у заказчика, показав высокий результат стабильности удержания пластины — 0,57%.Монокль
Проект осуществлен при финансовой помощи Московского фонда поддержки промышленности и предпринимательства (она предусматривает компенсацию процентной ставки в размере 50% от ключевой ставки Банка России).Монокль