В МГУ разработан способ точного контроля за ионами в плазменных технологиях, совмещающий экспериментальные измерения с математическим моделированием.Наука и жизнь
Эта новость в СМИ
Русская Планета
13 мая 2021 года
Ученые создали виртуальный датчик для реакторов плазмохимического травления
Научная Россия
13 мая 2021 года
Физики МГУ разработали виртуальный датчик для реакторов плазмохимического травления
Портал Поиск
13 мая 2021 года
Физики МГУ разработали виртуальный датчик для реакторов плазмохимического травления