Минпромторг выделил почти 7 миллиардов рублей на разработку пяти типов установок для микроэлектронного производства. Цель — заместить американское, европейское и японское оборудование отечественными аналогами. Работы должны быть завершены к 2028-2030 годам.
Что будут создавать
CNews выяснил детали пяти тендеров, опубликованных на портале госзакупок 25 ноября 2025 года.
1. Кластерный комплекс металлизации — 1,99 миллиарда рублей
Установка для нанесения слоев алюминиевой металлизации методом вакуумного напыления. Работает с пластинами диаметром 200 мм по технологии 180-90 нм.
Зарубежные аналоги: Applied Materials 0230-70040 Endura HP PVD (США) и Evatec Clusterline 300 (Швейцария).
Срок: до 30 сентября 2030 года.
2. Установка измерения рассовмещения — 1,61 миллиарда рублей
Автоматизированная система измерения рассовмещения топологических слоев на кремниевых пластинах диаметром 150 и 200 мм.
Зарубежный аналог: ARCHER 10 XT производства KLA TENCOR (США).
Срок: до 31 июля 2029 года.
3. Вертикальные диффузионные печи — 1,52 миллиарда рублей
Оборудование для высокотемпературной обработки кремниевых пластин до 200 мм. Обеспечивает базовые технологические процессы для изделий с нормами 180-90 нм.
Применение: групповое атмосферное влажное окисление в парах воды, отжиг, химическое осаждение диэлектрических и поликремниевых слоев.
Зарубежный аналог: TELALPHA (Япония).
Срок: до 31 октября 2029 года.
4. Установка лазерного отжига — 1,39 миллиарда рублей
Система для производства кремниевой силовой электронной компонентной базы на пластинах диаметром до 200 мм. Опционально поддерживает пластины диаметром 150 мм.
Срок: до 30 октября 2028 года.
5. Установка автоматической разбраковки — 368,6 миллиона рублей
Оборудование для сортировки кристаллов по механическим дефектам разделения — сколам, трещинам и другим повреждениям. Работает с пластинами диаметром до 300 мм.
Зарубежный аналог: Royce AP (США).
Срок: до 30 сентября 2028 года.
Условия тендеров
Все конкурсы открытые, заявки принимаются до 11 декабря 2025 года. Работы входят в госпрограмму «Научно-технологическое развитие Российской Федерации».
Критическое требование: комплектующие и материалы для создания оборудования должны быть отечественного производства. Цель — исключить критическую зависимость от иностранных поставщиков.
Контекст импортозамещения
Перечисленные тендеры — часть масштабной программы. Минпромторг публикует подобные конкурсы с 2023 года, многие работы уже выполняются.
План до 2032 года: российские микроэлектронные заводы получат 122 отечественных установки для производства микросхем.
В списке:
- Установки переноса изображения на пластину на уровне топологии;
- Оборудование контроля топологического рисунка фотошаблонов;
- Кластеры плазмохимического травления;
- Системы для выращивания кристаллов германия;
- Другое специализированное оборудование
Цель к 2030 году: импортозаместить около 70% оборудования и материалов для производства микроэлектроники.
Для формирования дорожной карты выбрано 20 технологических маршрутов:
- Микроэлектроника от 180 до 28 нм;
- СВЧ-электроника;
- Фотоника;
- Силовая электроника;
- Производство фотошаблонов;
- Сборка электронной компонентной базы и модулей;
- Производство пассивной электроники
Проблема финансирования
Средств на освоение установок не хватает. Часть работ сдвинута по срокам из-за недофинансирования.
Минпромторг заверяет: от проектов не отказываются, но дефицит бюджета замедляет выполнение программы. График корректируется с учётом доступных ресурсов.
Масштаб задачи
Создание собственного оборудования для микроэлектроники — одна из сложнейших задач импортозамещения. Современные установки для производства чипов — результат десятилетий разработок и триллионов долларов инвестиций.
Россия пытается за несколько лет создать аналоги оборудования, которое западные и азиатские компании совершенствовали полвека. Техпроцессы 180-90 нм — это стандарт начала 2000-х годов, но даже для их освоения требуются сложнейшие технологии и высокоточное оборудование.
Успех программы определит способность российской микроэлектронной промышленности функционировать без доступа к зарубежным поставщикам. Пока результаты должны появиться к концу десятилетия — если финансирование не сократят ещё сильнее.