Московская разработка удерживает пластины без механического контакта и снижает риск повреждений и загрязнений В Москве запустили первое в России серийное производство электростатических столов для работы с пластинами при изготовлении микросхем, чипов и процессоров. Устройство предназначено для использования в вакуумных технологических установках. Главная особенность разработки — бесконтактное удержание пластин с помощью электростатического поля. Это позволяет отказаться от механического прижима и снизить риск появления повреждений или загрязнений на чувствительной поверхности...

Когда говорят о микроэлектронике, обычно вспоминают литографы, плазмохимические установки или сложные системы травления. Но есть устройства, которые остаются за кадром, хотя без них не соберётся ни один современный чип. Одно из таких — электростатический стол. Это не просто «подставка», а высокотехнологичный инструмент, который удерживает кремниевую пластину в вакуумной камере без единого механического касания. До недавнего времени такие столы в России не производились вовсе — только импорт. Теперь ситуация меняется...