Многие аналитические приложения, такие как масс-спектрометрия, электронная микроскопия или анализ поверхности, выполняются в высоком вакууме. Турбомолекулярные насосы обычно используются для создания необходимого вакуума. Такие турбонасосы нуждаются во вспомогательном насосе или форвакуумном насосе, поскольку они не могут сжиматься до атмосферного давления. Использование безмасляных мембранных насосов для создания предварительного вакуума в сочетании с современными турбонасосами (со ступенью "молекулярного...