Фотолитографы глубокого ультрафиолета (DUV) сейчас у нас в центре внимания, и неспроста: буквально несколько дней назад на форуме «Микроэлектроника 2026» было официально объявлено о выпуске первого отечественного опытного DUV степпера (установки совмещения и пошагового экспонирования). Отличились Зеленоградский нанотехнологический центр и минский холдинг «Планар». «Центральной фигурой» установки является крупногабаритный объектив. Вопрос: а сколько весит объектив DUV фотолитографа в сборе (включая...