? Минпромторг выделил 2,37 млрд рублей на первый отечественный промышленный CD-SEM. Звучит гордо, но сроки смущают: контракт заключён, работы должны завершиться к 30 июня 2030 года. Это долгий путь для прибора, который заменит японские Hitachi S-9380 и CG4000. Успеют ли? В истории с российскими чипами амбициозные проекты часто срывались. Например, литограф с разрешением 350 нм от ЗНТЦ — по меркам индустрии это скромно, но даже его серийное производство, кажется, не налажено. Теперь о технической части...