Этап фотолитографии (экспонирование пластины, покрытой фоторезистом, с целью формирования на ней маски в соответствии с рисунком фотошаблона) является начальным этапом полупроводникового производства, определяющим последующие процедуры формирования соответствующих микрочипов. Однако эту работу предваряет множество операций, выполняемых не в самом фотолитографе, а в его верном спутнике: кластерной фотолитографической машине (установке химической обработки полупроводниковых пластин). Фоторезист: светочувствительный материал, в котором под воздействием света происходят химические изменения...