Что такое импульсное лазерное осаждение (PLD)? Импульсное лазерное осаждение — это метод физического осаждения из паровой фазы. В этом процессе мощный импульсный лазерный луч центрируется на мишени внутри вакуумной камеры. Лазерный луч испаряет целевой материал и осаждает его в виде тонкой пленки на подложке. Процесс включает испарение, абляцию, образование плазмы и отшелушивание. В 1965 году Смит и Тернер осуществили первое импульсное лазерное осаждение с использованием рубинового лазера. Однако...