По сообщениям газеты «Известия», российские разработчики представили проект многолучевого электронного литографа, который теоретически способен сократить время обработки кремниевой пластины примерно в 3000 раз по сравнению с традиционными однолучевыми литографами. Ключевой элемент российской разработки — мультикатод, который уже изготовили и испытали. В отличие от традиционной схемы с одним электронным лучом, российский мультикатод сразу создает множество параллельных электронных пучков. По словам...