В этой статье вы узнаете: Время прочтения: 3-5 минут В чистых помещениях для микроэлектроники «класс ISO» — лишь часть уравнения. Не менее важны направление и количество воздуха, а также контроль летучих молекулярных загрязнений (ЛМЗ), которые не видно счётчиком частиц, но они напрямую влияют на выход годной продукции. Разберёмся, какими должны быть скорости, как ими управлять и почему ЛМЗ нельзя оставлять «на потом». Для получения стабильной чистоты скорость однонаправленного потока через рабочую зону принимают 0,3–0,5 м/с...