Осенью 2021-го года я писал про НИР (научно-исследовательскую работу), появившуюся на сайте госзакупок, по теме «Разработка установки безмасочной рентгеновской нанолитографии на основе МЭМС (микроэлектромеханической системы) динамической маски для формирования наноструктур с размерами от 13 нм и ниже на базе синхротронного и/или плазменного источника», шифр «Рентген-Литограф». Более общее положение дел с разработками в этой сфере я также описывал в ноябре прошлого года, и с тех пор никакой новой конкретной информации не появлялось...