Источник излучения является одним из сложнейших компонентов фотолитографа, ключевого оборудования в производственной цепочке изготовления микрочипов. Хотя, конечно, простых компонентов в этой мегамашине попросту нет. В ней сложно всё: начиная от тефлонового покрытия рабочих камер и заканчивая высокоточной метрологией. Однако источник светового излучения и оптическая система всегда привлекают основное внимание, поскольку именно они выполняют главную задачу этой установки: сгенерировать световое излучение,...

Ртутные газоразрядные лампы представляют собой электрический источник света, в котором для генерации оптического излучения используется газовый разряд в парах ртути. Ртутные лампы являются разновидностью газоразрядных ламп. Для наименования всех видов таких источников света в отечественной светотехнике используется термин «разрядная лампа» (РЛ), включенный в состав Международного светотехнического словаря, утверждённого Международной комиссией по освещению. Этим термином следует пользоваться в технической литературе и документации...