Производство микросхем — это многоступенчатый процесс, который представляет собой строго регламентированную последовательность высокоточных операций. Производственный процесс состоит из этапов (рис. 1), на каждом из которых используются специальные газовые смеси. Процесс изготовления микросхем начинается с выращивания монокристаллов и нарезки кристалла на монокристаллические слаболегированные пластины. Пластины подвергаются очистке поверхности с целью удаления дефектов. Дефектом считается любое нарушение...