В России может появиться свой сверхточный литограф на уровне 1–3 нанометра: Появилась информация о разработках технологии
Российские физики из Центра Келдыша и ТРИНИТИ разработали технологию устройства, которое испаряет редкоземельные металлы для получения рентгеновского луча. Это может стать основой для создания отечественного оборудования для литографии на уровне 1–3 нанометров — как минимум наравне е с самыми передовыми разработками компании ASML (контролируется США). Материал о разработке появился на рубеже 2025-2026 годов, он опубликован в российском научном журнале «Успехи прикладной физики» (том 14, номер 1, 2026 год)...